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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品描述
  • 參數(shù)
  • 安裝尺寸
  • 標(biāo)準(zhǔn)電箱
  • 末端執(zhí)行器
  • 潔凈室適用
    所有機(jī)器人手臂和基座可互換
    加長(zhǎng)手臂和高負(fù)載版本可選
    省空間
    單臂、雙臂/疊層牙叉適配
    ISO Class 1級(jí)潔凈度
    支持控制箱內(nèi)置
    多種末端執(zhí)行器適配
    可選裝橫移軸、Mapping傳感器、Wafer傳感器等
    支持客制化定制

    關(guān)鍵詞:
    • 晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
  • 項(xiàng)目 參數(shù)
    尺寸 400W*303D*155H
    控制軸數(shù) 最高8軸
    驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 全低壓直流伺服系統(tǒng)
    通訊接口 RJ45*2
    教導(dǎo)方式 教導(dǎo)器
    設(shè)備環(huán)境 0-45°C,相對(duì)濕度20%-85%,無(wú)凝結(jié)
    電源 單相AC220V士10%,50/60Hz
    對(duì)照規(guī)格 SEMI S2,SEMIF47

     

  • 手臂支持單臂、雙臂的配置,同時(shí)可以提供樣式豐富的末端執(zhí)行器,包括真空吸附式、邊框夾持式、邊緣夾持式、翻轉(zhuǎn)式、疊層式和伯努利吸盤式等。所有末端執(zhí)行器接口統(tǒng)一,兼容所有翼菲晶圓機(jī)器人,便于互換。機(jī)器人可選裝多種Mapping傳感器和橫移軸,形成不同的組合形式。

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